無油真空泵跟個別容積泵雷同，由定子、缸體、旋片、轉(zhuǎn)子、電機(jī)等重要整機(jī)組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心腸安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，因為離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分別開來，周而復(fù)始運(yùn)行，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而到達(dá)抽氣目標(biāo)，替換了旋片式真空泵需要耗真空油才干使用的短處。

　　它的特點是操作容易、抽氣量小、體積小、移動便利、結(jié)構(gòu)簡略、易于裝置、不會產(chǎn)生油煙、不會污染環(huán)境等，無油真空泵耐用性好，是壓縮，抽真空，兩用真空泵，是一種應(yīng)用規(guī)模非常廣泛取得真空的基本設(shè)備。

　　由無油真空泵的定義可知，其抽氣腔是無油的。但是機(jī)械傳動部分還是需要油類光滑,例如多級無油真空泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動齒輪的軸承都需求光滑。利用迷宮式密封結(jié)構(gòu),去阻隔泵腔和齒輪箱等部位,比較簡略的方法是在泵腔和需求光滑的部位之間充入枯燥的惰性氣體,或裝置密封圈。

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